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Aluminiumoxid-
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(Al 2O3)
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Substrate
(Al2TiO5)
Substrate Zirkonoxid-
Substrate
(ZrO2)
Substrate
Aluminiumnitrid-
Substrate
(AlN)
Substrate Siliziumnitride-
Substrate
(Si 3N4)
Substrate Siliciumcarbid-
Substrate
(SSiC / SiSiC)
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